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发明名称 真空ステーション
摘要
申请公布号 JP5902526(B2) 申请公布日期 2016.04.13
申请号 JP20120068920 申请日期 2012.03.26
申请人 株式会社荏原製作所 发明人 清水 修;池田 圭介;廣東 裕次
分类号 E03F1/00;E03F3/02;E03F5/22 主分类号 E03F1/00
代理机构 代理人
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