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发明名称 塗布、現像装置
摘要
申请公布号 JP5901477(B2) 申请公布日期 2016.04.13
申请号 JP20120198403 申请日期 2012.09.10
申请人 東京エレクトロン株式会社 发明人 須中 郁雄;森川 勝洋;古庄 智伸
分类号 H01L21/027;H01L21/677 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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