发明名称 可以侦测和防止高温金属材料泄露的加热容器及制造方法
摘要 本发明涉及一种可以侦测和防止高温金属材料泄露的加热容器及制造方法。该加热容器包括:用于容纳金属材料的内部加热容器,外部加热容器,以及检测装置;在该内部加热容器和外部加热容器之间靠近该内部加热容器的底部与侧面交界的位置设有多段底部导电丝,每段底部导电丝的两末端分别经由对应的导电丝连接位于该内部加热容器及外部加热容器顶部的对应的检测端子,该检测装置借由检测与相邻两段底部导电丝的两相邻末端对应的两检测端子之间的电阻来侦测该内部加热容器的材料泄露。本发明还提供了该加热容器的制造方法。本发明提供了一种特殊加热容器的设计,易于侦测加热容器泄露与否同时保证在加热容器破裂情况下相关实验和生产的继续进行。
申请公布号 CN103952668B 申请公布日期 2016.04.13
申请号 CN201410204509.8 申请日期 2014.05.14
申请人 深圳市华星光电技术有限公司 发明人 匡友元;张鑫狄
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人 林才桂
主权项 一种可以侦测和防止高温金属材料泄露的加热容器,其特征在于,包括:用于容纳金属材料的内部加热容器,用于容纳该内部加热容器并且接受加热装置加热的外部加热容器,以及检测装置;在该内部加热容器和外部加热容器之间靠近该内部加热容器的底部与侧面交界的位置设有多段底部导电丝,每段底部导电丝的两末端分别经由对应的导电丝连接位于该内部加热容器及外部加热容器顶部的对应的检测端子,该检测装置借由检测与相邻两段底部导电丝的两相邻末端对应的两检测端子之间的电阻来侦测该内部加热容器的材料泄露。
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