| 发明名称 | 一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，将与坩埚外形相同的模具，置于压力20Pa～400Pa，温度1450℃～1850℃，在惰性气体保护下，连续通入甲烷和/或丙烷气体，先在模具表面涂一层热解石墨涂层，涂层厚度5-30微米，再沉积热解氮化硼坩埚模具，脱模后即得长寿命热解氮化硼坩埚模具。本发明通过调整通气工艺，先在模具表面沉积一层热解石墨再沉积制得热解氮化硼坩埚，生产完毕对产品脱模后，石墨模具表面有一层热解石墨涂层，再对石墨模具抛光处理时大大减小了石墨模具的磨损，增加石墨模具的使用次数，降低了更换石墨模具的成本。 | ||
| 申请公布号 | CN105483642A | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201610045511.4 | 申请日期 | 2016.01.22 |
| 申请人 | 山东国晶新材料有限公司 | 发明人 | 王彩华;刘汝强;宋琪;王之腾;赵旭荣 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人 | 张宏松 |
| 主权项 | 一种长寿命热解氮化硼坩埚模具的制备方法，将与坩埚外形相同的模具，置于压力20Pa～400Pa，温度1450℃～1850℃，在惰性气体保护下，连续通入甲烷和/或丙烷气体，先在模具表面涂一层热解石墨涂层，涂层厚度5‑30微米，再沉积热解氮化硼坩埚模具，脱模后即得长寿命热解氮化硼坩埚模具。 | ||
| 地址 | 251200 山东省德州市禹城市南环东路88号 | ||