移动靶镀膜装置及镀膜方法

摘要

移动靶镀膜装置，包括靶源、靶源承载部、用于检测靶源表面温度的红外温度探测部、用于加热靶源的红外加热部、控制部；靶源承载部承载靶源并可驱动靶源在三维方向自由移动；红外温度探测部和红外加热部与控制部信号连接，控制部接收红外温度探测部的探测信号，判断靶源表面温度是否均匀，当控制部判断靶源表面某部分温度低于其他部分的温度且温度差值超过设定值时，则控制红外加热部加热温度较低的部分靶源表面，至靶源表面温度均匀时停止加热。

主权项

一种移动靶镀膜装置，包括靶源、靶源承载部、用于检测所述靶源表面温度的红外温度探测部、用于加热所述靶源的红外加热部、控制部；其中，所述靶源承载部承载所述靶源并可驱动所述靶源在三维方向自由移动；所述红外温度探测部和所述红外加热部与所述控制部信号连接，所述控制部接收所述红外温度探测部的探测信号，判断所述靶源表面温度是否均匀，当所述控制部判断所述靶源表面某部分温度低于其他部分的温度且温度差值超过设定值时，则控制所述红外加热部加热所述温度较低的部分靶源表面，至所述靶源表面温度均匀时停止加热。