| 摘要 |
본 발명에 의한 압력식 유량 제어 장치는 유체 입구와 유체 출구 사이를 연통하는 유체 통로 및 유체 통로와 배기 출구 사이를 연통하는 배기 통로를 설치한 본체와, 본체의 유체 입구측에 고정되어 유체 통로의 상류측을 개폐하는 압력 제어용 컨트롤 밸브와, 그 하류측의 유체 통로 내압을 검출하는 제 1 압력 센서와, 상기 배기 통로의 분기 개소보다 하류의 유체 통로 내에 설치한 오리피스와, 상기 제 1 압력 센서의 하류측의 유체 통로를 개폐하는 개폐 밸브와, 상기 배기 통로를 개폐하는 배기용 밸브를 구비한다. 상기 압력식 유량 제어 장치에 의한 유량 제어 개시 전에 배기용 밸브를 작동해서 압력 제어용 컨트롤 밸브와 개폐 밸브 사이의 유체 통로 공간 내를 강제 배기함으로써 유량 제어 개시 시의 오버슈트를 방지할 수 있다. |
