| 摘要 |
띠 모양으로 형성되어 가요성을 가지는 기판(S)의 반송장치(1)는 기판(S)을 송출하는 공급롤러(5b)와, 기판(S)을 감는 회수롤러(6b)와, 기판(S)의 진행방향에 대해서 교차하는 방향(X, Z)으로 공급롤러(5b) 및 회수롤러(6b)를 구동하는 구동부(8)를 가진다. 공급롤러(5b)는 제1 레일(3)로 안내되고, 회수롤러(6b)는 제2 레일(4)로 안내된다. 레일구동기구(7)는 양롤러(5b,6b)의 사이의 간격을 변경한다. 레일(3, 4)의 사이에 배치되는 처리부(PA)는 수지 또는 스테인리스강 제품의 기판(S)에 성막, 노광, 세정 등의 처리를 한다. 처리부(PA)는 레일(3,4)에 따라서 복수 배치된다. 양롤러(5b,6b)와 함께 레일(3,4)을 따라서 옮겨지는 기판(S)이 복수의 처리부(PA)에서 차례차례 처리됨으로써, 기판(S)상에 유기EL소자가 형성된다. |
