感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜及图案形成方法

摘要

一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其包含(A)当曝露于光化射线或放射线时产生酸之化合物、(B)在酸作用下时在硷性显影剂中之溶解速率提高的树脂以及(C)疏水性树脂，其中所述疏水性树脂(C)含有衍生自任何以下通式(1)单体之重复单元。

主权项

一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有(A)当曝露于光化射线或放射线时产生酸之化合物、(B)在酸作用下时在硷性显影剂中之溶解速率提高的树脂以及(C)疏水性树脂，其特征为所述疏水性树脂(C)含有衍生自任何以下通式(1)单体之重复单元，

其中R1各独立地表示氢原子、氟原子、具有1个至4个碳原子的烷基、具有6个至8个碳原子的芳基、具有1个至4个碳原子的烷氧基、羧基、酯基或磺醯基，R2各独立地表示氢原子、视情况氟化之具有1个至20个碳原子的烷基、视情况氟化之具有3个至20个碳原子的环烷基或视情况氟化之具有6个至20个碳原子的芳基，R3表示氧原子或单键，Rf各独立地表示视情况氟化之具有1个至8个碳原子的伸烷基或视情况氟化之具有6个至20个碳原子的伸芳基，
A表示，其中R：氢原子或甲基，B表示单键、视情况氟化之具有1个至9个碳原子的伸烷基、视情况氟化之具有10个碳原子的伸环烷基，其限制条件为所述伸烷基之碳原子视情况经氧原子部分置换，当B为单键或伸烷基时，m为1或2，且n为0至2之整数，满足关系式n=2-m。