阻剂组成物与制造阻剂图案的方法

摘要

阻剂组成物，包含：具有式(I)表示之结构单元之树脂，其为不溶或难溶于硷性水溶液，但藉由酸的作用变成可溶于硷性水溶液且不包含式(I)表示之结构单元之树脂，酸产生剂，及式(II)表示之化合物，

主权项

一种阻剂组成物，包括具有式(I)表示之结构单元之树脂；为不溶或难溶于硷性水溶液，但藉由酸的作用变成可溶于硷性水溶液且不包含该式(I)表示之结构单元之树脂；酸产生剂；以及式(II)表示之化合物，

其中，R1表示氢原子或甲基；A1表示C1至C6烷二基；A13表示视需要具有一个或多个卤素原子之C1至C18二价脂族烃基；X12表示＊-CO-O-或＊-O-CO-，＊表示键结至A13；A14表示视需要具有一个或多个卤素原子之C1至C17脂族烃基；

其中，R26表示C1至C12烷基、C3至C18脂环烃基或C6至C14芳族烃基，该烷基所含之一个或多个氢原子可经氟原子置换，该脂环烃基所含之一个或多个氢原子可经羟基、C1至C4羟基烷基、C1至C4氟化羟基烷基、C1至C4烷氧基或C2至C5醯氧基置换，该芳族烃基所含之一个或多个氢原子可经氟原子、氯原子、氰基、硝基、C1至C4烷基、C1至C4烷氧基、C2至C5醯基、C2至C5醯氧基、C2至C5烷氧基羰基或苯基置换，而且该脂环烃基所含之一个或多个-CH2-可经-O-、-CO-、-N(Rd)-、-S-或-SO2-置换；X21表示单键或C1至C10烷二基，该烷二基所含之一个或多个氢原子可经氟原子置换，且该烷二基所含之一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-置换；X22表示-O-或-N(Rd)-；Rd表示氢原子或C1至C4烷基；R23、R24及R25独立表示氢原子、C1至C4烷基或C6至C14芳族烃基。