抗蚀剂剥离剂组成物

摘要

明涉及一种抗蚀剂剥离剂组成物，特别涉及一种包含具有环状胺结构之咪唑啶化合物的抗蚀剂剥离剂组成物，其抗蚀剂剥离性能非常优秀，并且对金属的防腐蚀效果突出，因此在图案形成过程中，可使元件金属布线的腐蚀降至最低。

主权项

一种抗蚀剂剥离剂组成物，其特征在于，包含由以下化学式1表示之咪唑啶化合物以及溶剂，

上述化学式1中，R1、R2分别独立或同时表示直链或支链之C1-C5的烷基、烯丙基、C1-C5的烷基胺基、C1-C5的羟烷基、或C1-C5的烷基苯基；其中该组成物包含1至70wt%之由化学式1表示的咪唑啶化合物，以及余量的溶剂；以及其中该溶剂为质子极性溶剂、非质子极性溶剂或前述二者之混合物。