发明名称 Container opening/closing device
摘要 본 발명은 워크를 출입시키는 개구부(102)를 갖는 용기 본체(101)와, 상기 개구부(102)에 착탈이 자유롭게 장착되고 그 개구부(102)를 막는 덮개(103)를 구비한 용기(100)에 대해 상기 덮개(103)의 개폐를 행하는 용기 개폐 장치를 제공한다. 이 용기 개폐 장치는 상기 덮개(103)를 보유지지하는 보유지지부(30)를 가지며, 상기 덮개(103)가 상기 개구부(102)를 막는 폐쇄 위치와 상기 덮개가 상기 개구부로부터 이격된 개방 위치 사이에서 상기 보유지지부(30)를 이동시켜 상기 개구부(102)를 개폐하는 개폐 기구(3)와, 상기 개폐 기구(3)에 의해 상기 덮개(103)를 상기 개방 위치로부터 상기 폐쇄 위치로 향하여 이동할 때, 상기 보유지지부(30)의 주연부를 상기 용기 본체(101) 측으로 향하여 압압하는 압압 기구(4)를 구비한다.
申请公布号 KR101611487(B1) 申请公布日期 2016.04.11
申请号 KR20137034729 申请日期 2012.05.11
申请人 히라따기꼬오 가부시키가이샤 发明人 도요다 노리요시;나카무라 히로후미
分类号 H01L21/673;H01L21/677 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
地址