Apparatus for removing fume

摘要

본 발명은, 웨이퍼가 적재되는 적재대, 및 전방에 구비되어 상기 적재대에 적재되는 웨이퍼가 출입하는 전방개구부를 포함하며, 상기 적재대는 상하로 복수 개 형성되며, 상기 적재대는 상기 전방 개구부로 갈수록 상기 적재대에 적재된 웨이퍼를 향하여 경사지게 구비되는 경사부를 갖는 퓸 제거 장치에 관한 것이다. 본 발명을 통해, 웨이퍼에 잔존하는 공정 가스를 효율적으로 제거할 수 있다.