| 摘要 |
본 발명에 따른 히터는 일측면에 기판이 안착되며, 내부에 상기 기판을 가열하는 발열체가 설치된 히팅부, 히팅부의 타측에 위치하고, 내부에 냉매가 흐르는 냉매 유로가 설치되어, 히팅부를 냉각시키는 냉각부, 히팅부와 냉각부 사이에 위치하는 빈 공간으로서, 상기 냉각부의 온도를 상기 히팅부로 전달하는 채널을 포함한다. 따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 히터 내부에 냉매 유로를 구비하여, 공정 시간 동안에 냉매를 순환시킴에 따라, 히터 바디에 열이 축적되어 공정 온도 이상으로 올라가는 것을 방지할 수 있다. 또한, 냉매 유로를 통해 흐르는 저온의 냉매에 의해 히터 바디가 직접 냉각되지 않고, 냉각 바디의 열이 채널을 거쳐 히터 바디로 전달되어 냉각된다. 다시 말하면, 냉각 바디의 온도가 채널을 통과하면서, 상기 채널 전체 영역에 균일하게 확산되면서 히터 바디에 전달된다. 따라서, 공정 수행 중에, 기판이 안착되는 히터 바디의 온도를 균일하게 유지할 수 있다. |
