| 发明名称 |
カルーセル原子層堆積のための装置および方法 |
| 摘要 |
個別に水平にさせる、移動させる、または変化させることができる複数のパイ形状セグメントから構成されたガス分配アセンブリおよびサセプタアセンブリが説明される。さらに、ガス分配アセンブリと、サセプタアセンブリと、サセプタとガス分配アセンブリとの間の間隙を調節するためのフィードバック回路を伴うセンサとを含む処理チャンバが説明される。ガス分配アセンブリ、サセプタアセンブリ、および処理チャンバを使用する方法も説明される。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP2016510945(A) |
申请公布日期 |
2016.04.11 |
| 申请号 |
JP20150558951 |
申请日期 |
2014.02.20 |
| 申请人 |
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ |
发明人 |
ユドフスキー， ジョゼフ;ギャンガックヘッドカー， カーシャル;グリフィン， ケヴィン |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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