发明名称 MEMS A MEMS DEVICE
摘要 MEMS 장치는 제 1 의 복수의 돌기를 포함하는 진동판을 포함한다. 카운터 전극 배열은 진동판의 제 1 의 복수의 돌기와 서로 맞물린 관계로 배치된 제 2 의 복수의 돌기를 포함한다. 편향기는 돌기의 최대 중첩을 피하는 위치로 상기 제 1 의 복수의 돌기 및 상기 제 의 복수의 2 돌기가 이동되도록 진동판을 편향하게 구성된다.
申请公布号 KR101607757(B1) 申请公布日期 2016.04.11
申请号 KR20140092853 申请日期 2014.07.22
申请人 인피니언 테크놀로지스 아게 发明人 데헤 알폰스;나와즈 모신
分类号 B81B3/00;B81B7/02 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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