热电偶用保护管之部分

摘要

计的物品是热电偶用保护管，使用在用来对基板进行处理的基板处理装置。
本物品是配置在基板处理装置的处理室周边，利用设在内部的孔来设置热电偶，而可测定处理室周边的温度。
图式所揭露之实线部分，为本案主张设计之部分，虚线部分为本案不主张设计之部分。
图式所揭露之一点链线，系界定本案所欲主张之范围，该一点链线本身为本案不主张设计之部分。