| 摘要 |
본 발명은 화학식 (1)로 표시되는 불소 알코올 화합물에 관한 것이다.(R은 수소 원자, 또는 탄소수 1 내지 20의 직쇄상, 분지상 또는 환상의 1가 탄화수소기를 나타내고, 1가 탄화수소기를 구성하는 -CH-가 -O- 또는 -C(=O)-로 치환되어 있을 수도 있고, Aa는 탄소수 1 내지 20의 직쇄상, 분지상 또는 환상의 (k+1)가의 탄화수소기 또는 불소화 탄화수소기이고, k은 1 내지 3의 정수임) 본 발명의 불소 알코올 화합물은 파장 500 nm 이하, 특히 파장 300 nm 이하의 방사선에 대하여 우수한 투명성을 갖고, 현상 특성이 양호한 감방사선 레지스트 재료의 베이스 수지를 제조하기 위한 단량체로서 매우 유용하다. |
