石墨膜之制造方法及碳化膜之制造方法

摘要

明之课题在于利用包括将长度方向上连续之高分子膜连续煅烧之连续碳化步骤的石墨膜之制造方法，可抑制伴随碳化收缩之褶皱或波纹。藉由设置2阶段以上之加热空间连续地进行煅烧，可获得抑制褶皱或波纹之石墨片材。尤其是，若于各加热空间之间存在冷却空间，则可获得平坦性优异、热扩散率较高之石墨膜。

主权项

一种石墨膜之制造方法，其包括：连续碳化步骤，其包含将高分子膜供给至2阶段以上之加热空间，该空间之每一者之温度在500℃以上900℃以下之范围内，以获得碳化膜；石墨化步骤，其系于2400℃以上之温度下对碳化膜进行加热，以获得石墨膜。