基板处理装置用气体供给喷嘴

摘要

计的物品是基板处理装置用气体供给喷嘴。
本衍生设计与原设计之外观差异在于：如各图所示，两者之尺寸大小略有所不同，因此本案与原设计案之差异些微，不影响原设计与衍生设计之近似。