| 摘要 |
Светоизлучающее устройство, содержащее кремниевую подложку с последовательно расположенными наноразмерными слоями поликристаллического кремния и диэлектрика, причем слои кремния имеют две латеральные области p- и n-типа, омические контакты, отличающееся тем, что в качестве диэлектрика в последовательно расположенных наноразмерных слоях поликристаллического кремния использован диоксид кремния, полученный путем многократного окисления кремния. |
