| 摘要 |
Способ получения эпитаксиальных слоев кремния, включающий создание композиции из двух кремниевых пластин с заданным зазором между ними, капиллярное втягивание в зазор расплава, содержащего алюминий, формирование зоны раствора-расплава и последующее ее перемещение в поле температурного градиента через одну из пластин до выхода на ее поверхность, отличающийся тем, что, с целью повышения качества слоев при увеличении их линейных размеров, в расплав дополнительно вводят 0,03-5,00 мас.% металла III B или IV B группы Периодической системы элементов, расплав которого имеет коэффициент поверхностного натяжения 0,44-0,73 Н/м. |
