| 摘要 |
프로브 헤드를 용이하게 교환할 수 있는 프로버를 제공한다. 프로버(10)는 본체(12)와, 상기 본체(12)의 내부에 배치되어 웨이퍼(W)를 재치하는 스테이지(11)와, 본체(12)의 내부에 배치되고 또한 스테이지(11)에 대향하는 프로브 카드(16)와, 본체(12)의 내부에 배치되어 프로브 카드(16)를 향해 이동 가능한 프로브 헤드 홀더(24)를 구비하고, 프로브 카드(16)는 당해 프로브 카드(16)로부터 착탈 가능하며 또한 복수의 프로브 바늘(35)이 배치된 프로브 헤드(30)를 가지고, 프로브 헤드 홀더(24)는 프로브 헤드(30)를 유지하여 프로브 카드(16)를 향해 이동한다. |
