| 摘要 |
본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 챔버와, 상기 챔버 내에서 기판을 지지하고 기판을 이동시키는 기판 이송부와, 상기 기판에 박막을 증착하는 타겟부 및 상기 기판의 이동에 따라 상기 타겟부에 인가되는 전력을 가변하는 발전기를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다. 이와 같이 본 발명은 기판을 이동시키고, 기판 이동에 따라 스퍼터 타겟을 다르게 하여 타겟의 사이즈가 줄더라도 기판 상에 균일한 박막을 형성할 수 있고, 챔버 상측면에 설치된 타겟부의 길이를 작게하여 타겟부의 불필요한 낭비를 최소화하여 장비 운영비를 절감시킬 수 있다. |
