| 摘要 |
본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 특히 도어를 여닫이식으로나 미닫이식으로 선택하여 개폐할 수 있는 반도체 웨이퍼 카세트를 제공하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명에서는 전면이 개구되고 측방으로 소정 간격을 두고 배치된 측면판들의 대향하는 내벽면에 웨이퍼의 양측 테두리 부분을 받쳐주는 슬롯이 다수 형성된 카세트 본체와, 상기 카세트 본체의 개구부를 개폐하는 도어를 포함하며, 상기 측면판들의 대향하는 내벽면 상부에 수평 방향으로 가이드홈이 각각 형성되고, 상기 도어가 상기 가이드홈을 따라 슬라이딩 이동하면서 개폐 작동하도록 상기 도어의 상부 양단에 롤러가 장착되고, 상기 도어가 상기 카세트 본체의 개구부를 폐쇄한 상태를 유지하도록 상기 카세트 본체의 개구부 상측의 상기 가이드홈 상에 상기 롤러를 구속하는 제1스토퍼홈이 형성되며, 상기 측면판들의 대향하는 내벽면 하부에 일정 간격을 두고 제1 및 제2홀딩핀이 구비되고, 상기 도어가 상기 카세트 본체의 개구부를 개방한 상태를 유지하도록 상기 제1스토퍼홈과 일정 간격을 두고 상기 가이드홈 상에 상기 롤러를 구속하는 제2스토퍼홈이 형성된 웨이퍼 카세트를 개시한다. |
