METHOD OF PRODUCING NANOPARTICLES BY GENERATING AN ELECTRICAL SPARK

摘要

하나 또는 둘 이상의 전구체 유체들의 합성을 통하여 1 nm 내지 1000 nm의 크기 범위의 나노입자들을 제조하기 위한 방법이 제공된다. 상기 방법은 하나 이상의 전구체 유체를 포함하는 유체 매체를 제공하는 단계 및 하나 이상의 라디칼 종을 제조하도록 비교적 고온의 플라즈마 존 내에서 상기 하나 이상의 전구체 유체의 열분해를 일으키기 위해 상기 유체 매체 내에서 전기 스파크를 발생시키는 단계를 포함한다. 나노입자들은 플라즈마 존 주위의 더 차가운 반응 존내의 유체 매체 내에서의 핵생성에 의해 형성되며, 여기서 라디칼 종은 나노입자들을 구성하는 재료의 합성시 반응물 또는 촉매제로서 작용한다. 상기 스파크는 0.01 Hz 내지 1 kHz의 주파수 및 0.01 J 내지 10 J의 총 에너지를 가지는 전기 방전에 의해 생성된다. 나노입자들은 실리콘, 실리콘의 화합물들 또는 알로이들을 포함할 수 있으며, 전형적으로 전자 및 전기 적용 분야들에서 유용하다.