Verkippbarer Spiegel für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung eines solchen Spiegels

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen verkippbaren Spiegel (10), insbesondere für einen Facettenspiegel einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, mit einer Basis (12), einem Spiegelsubstrat (18) und einem Blattfedergelenk (20). Letzteres verbindet so gelenkig das Spiegelsubstrat (18) mit der Basis (12), dass das Spiegelsubstrat (12) um eine Drehachse (14; 16) verkippbar ist. Das Blattfedergelenk (20) umfasst hierbei ein Blattfederpaket (28) mit mindestens zwei Blattfedern (26), die sich zwischen der Basis (12) und dem Spiegelsubstrat (18) erstrecken und in einer gemeinsamen Biegeebene biegbar sind. Erfindungsgemäß sind die Blattfedern (26) aus Blech gefertigt.