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Es werden eine Verschiebungsmessvorrichtung und ein Verfahren zur Messung einer Verschiebung bereitgestellt, die ein Schmälern eines Erfassungsbereichs vermindern können. Eine Verschiebungsmessvorrichtung (100) umfasst eine Lichtquelle (12), eine Kollimatorlinse (14), ein Paar von Beugungsgittern (20) und einen Photodetektor (PD) (31). Der PD (31) erfasst Interferenzlicht (27), das durch eine Interferenz zwischen gebeugtem Licht –n-ter Ordnung, das erzeugt wird, wenn ein zweites Beugungsgitter (22) gebeugtes Licht +n-ter Ordnung von einem ersten Beugungsgitter (21) beugt, und gebeugtem Licht +n-ter-Ordnung erzeugt wird, das erzeugt wird, wenn das zweite Beugungsgitter (22) gebeugtes Licht –n-ter Ordnung von dem ersten Beugungsgitter (21) beugt (wobei n eine natürliche Zahl größer als oder gleich 1 ist). Eine Berechnungseinheit (40) berechnet relative Verschiebungen zwischen dem Paar von Beugungsgittern (20) in der Richtung orthogonal zu deren optischen Achse unter Verwendung von periodischen Veränderungen des Ausmaßes von Interferenzlicht (27), das durch den PD (31) empfangen wird. Mit anderen Worten, das Interferenzlicht (27) wird nicht gedämpft, da eine relative Verschiebung des Paars von Beugungsgittern (20) in der Z-Richtung nicht erfasst wird. Dies ermöglicht die Verminderung der Schmälerung des Erfassungsbereichs. |
