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Kapazitiver Sensor für dynamische Größen, mit: einem Gewicht (11), auf das eine dynamische Größe ausgeübt wird; einer beweglichen Elektrode (10a, 10b), die einstückig mit dem Gewicht (11) ausgebildet ist; einer Verankerung (14) für eine bewegliche Einheit, die das Gewicht (11) auf einem Substrat (1) lagert; eine rechteckige rahmenförmige Feder (12), die zwischen der Verankerung (14) für die bewegliche Einheit und dem Gewicht (11) angeordnet ist und eine Gestalt eines rechteckigen Rahmens aufweist, der ein Durchgangsloch aufweist, das in einer Richtung senkrecht zu einer Versatzrichtung der beweglichen Elektrode (10a, 10b) länglich ist, wobei, wenn die dynamische Größe auf das Gewicht (11) ausgeübt wird, die rechteckige rahmenförmige Feder (12) elastisch deformiert wird, um die bewegliche Elektrode (10, 10b) um eine Strecke zu versetzen, die der dynamischen Größe entspricht; und einer festen Elektrode (17a, 17b), die so angeordnet ist, dass sie der beweglichen Elektrode (10a, 10b) gegenüberliegt, wobei ein Versatz der beweglichen Elektrode (10a, 10b), der im Ansprechen auf die Ausübung der dynamischen Größe bewirkt wird, als eine Veränderung einer Kapazität zwischen der beweglichen Elektrode (10a, 10b) und der festen Elektrode (17a, 17b) erfasst wird; eine Spannungspufferfeder (13) zwischen der Verankerung (14) für die bewegliche Einheit und der rechteckigen rahmenförmigen Feder (12) ausgebildet ist, um den Einfluss einer Spannung auf die rechteckige rahmenförmige Feder (12) durch eine elastische Deformierung der Spannungspufferfeder (13) zu verringern, wenn die Spannung in dem Substrat (1) erzeugt wird; die Spannungspufferfeder (13) eine Gestalt eines rechteckigen Rahmens aufweist, der ein Durchgangsloch aufweist, das in der Richtung senkrecht zu der Versatzrichtung der beweglichen Elektrode (10a, 10b) länglich ist; eine Länge und/oder eine Breite des rechteckigen Rahmens der Spannungspufferfeder (13), der in der Richtung senkrecht zu der Versatzrichtung der beweglichen Elektrode (10a, 10b) länglich ist, sich von einer entsprechenden Länge und/oder Breite ... |
