| 摘要 |
펄스 레이저광을 출사하는 레이저 발진기와, 펄스 레이저광의 광축과 수직한 면에 매트릭스형상으로 깔려진 복수의 동일 형상의 소 렌즈를 가지며, 복수의 소 렌즈의 각각에 펄스 레이저광을 빔 단면에 관해 분할한 일부분이 입사하도록 배치된 렌즈 어레이와, 렌즈 어레이의 복수의 소 렌즈로부터의 출사광을 측정 대상의 금속재의 표면의 동일 영역에 겹쳐서 집광시키는 집광 렌즈와, 집광 렌즈에 의해 집광된 펄스 레이저광에 의해 여기 되어 금속재의 내부를 전파하는 펄스 초음파를 전기 신호로서 검출하는 레이저 간섭계와, 전기 신호를 처리하는 신호 처리 장치를 구비한다. |
