ULTRA-THIN POLYMERIC ADHESION LAYER

摘要

임프린트 리소그래피 임프린팅 스택은 기판과 기판에 부착된 중합체 접착 층을 포함한다. 중합체 접착 층은 적어도 약 2 nm의 연장된 골격 길이를 갖는 중합체 성분을 포함한다. 중합체 성분의 골격은 기판의 표면 위에 실질적으로 편평한 구조로 정렬되어, 중합체 접착 층의 두께가 약 2 nm 미만이도록 한다.