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Das Mehrwegeventil weist ein Oberteil (1), ein Unterteil (2) und ein plattenförmiges Mittelteil (3) auf, das unter Zwischenlage einer ersten Membran (4) mit dem Oberteil und unter Zwischenlage einer zweiten Membran (5) mit dem Unterteil verbunden ist. Das Ober- und Unterteil enthalten auf ihren den Membranen zugewandten Seiten Ausnehmungen (11, 15), in die ein Steuerfluid einleitbar ist. Das Mittelteil enthält auf seinen an den Membranen anliegenden Seiten in den Ausnehmungen gegenüberliegenden Bereichen jeweils ein Paar von Öffnungen (8i, 9i). Bei Einleitung des Steuerfluids in eine Ausnehmung verschließt die Membran die jeweils gegenüberliegenden Öffnungen in dem Mittelteil; ansonsten weicht die Membran unter Freigabe der ihr gegenüberliegenden Öffnungen in die Ausnehmung zurück. Das Steuerfluid wird abwechselnd in die Ausnehmungen des Oberteils und die des Unterteils eingeleitet. In dem Mittelteil sind Kanalsysteme (7i) zwischen dem Oberteil (1) gegenüberliegenden Öffnungen (8i), dem Unterteil (2) gegenüberliegenden Öffnungen (9i) und Ventilanschlüssen (6i) ausgebildet. Die Ventilanschlüsse (6i) sind nicht an dem Mittelteil (3) sondern an dem Oberteil (1) oder Unterteil (2) montiert, so dass das Mittelteil unter Vermeidung von Toträumen in den Kanalsystemen (7i) sehr dünn ausgeführt sein kann. |
