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Bereitgestellt werden eine Oberflächeneigenschaftenprüfeinrichtung, ein Oberflächeneigenschaftenprüfsystem und ein Oberflächeneigenschaftenprüfverfahren mit der Fähigkeit zum Prüfen des Oberflächenbearbeitungszustandes eines bearbeiteten Materials, das einer Oberflächenbearbeitung, so beispielsweise einer Strahlverfestigung, einer Wärmebehandlung oder einer Nitridierung unterzogen wurde, mit hoher Genauigkeit und niedriger Anfälligkeit für Temperaturänderungen in der Prüfumgebung. Eine Oberflächeneigenschaftenprüfeinrichtung 1 ist mit einer AC-Leistungszuleitung 10, einer AC-Brückenschaltung 20 und einer Bewertungsvorrichtung 30 ausgestattet; die AC-Brückenschaltung 20 umfasst einen variablen Widerstand 21, bei dem das Teilungsverhältnis γ variabel ist, einen Referenzdetektor 22 und einen Prüfdetektor 23. Der Prüfdetektor 23 ist mit einer Spule 23b ausgestattet, die derart gewickelt ist, dass sie dem Oberflächeneigenschaftenprüfbereich des Prüfobjektes M gegenüberliegt, wobei durch Zuleiten von AC-Leistung von der AC-Leistungszuleitung 10 zu der Spule 23b ein Wirbelstrom in dem Prüfobjekt M angeregt wird. Damit können die magnetischen Eigenschaften des Prüfobjektes M erfasst werden, und es wird eine Prüfung von Oberflächeneigenschaften auf Grundlage des Ausgabesignals der AC-Leistungszuleitung 10 möglich. |
