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Ein Zeigegerät, das aufweist: eine Lichtquelle (2), die einfallendes Licht zum Beleuchten einer Vorderfläche eines Substrats (6) in einem vorgegebenen Einfallswinkel (α) aussendet, wobei das Substrat (6) eine Rückfläche sowie die Vorderfläche aufweist, für eine Wellenlänge (λ) des einfallenden Lichts durchlässig und aus Glasmaterial mit einer Dicke zwischen 10 mm und 15 mm hergestellt ist; einen Detektor (4), der die Intensität von Fleckenlicht von der Vorderfläche und der Rückfläche detektiert, wobei das Fleckenlicht von dem einfallenden Licht erzeugt wird; Beine (7), die mit dem Substrat (6) in Kontakt stehen und die Vorderfläche des Substrats (6) durch Reibung zwischen den Beinen (7) und dem Substrat (6) aufladen; und eine Apertur (5), die eine Öffnung aufweist, durch die das Fleckenlicht hindurchtritt, wobei eine Längsrichtung (X) der Öffnung in der Richtung des Einfallswinkels (α) liegt, so dass das Fleckenlicht von der Vorderfläche mit dem Fleckenlicht von der Rückfläche auf dem Detektor (4) überlappt; wobei die Öffnung eine rechteckige Öffnung ist, die eine Länge (a) in der Längsrichtung (X) größer als eine Länge (b) in der Breitenrichtung hat. |
