POSITIVE RESIST COMPOSITION METHOD OF FORMING RESIST PATTERN USING THE SAME AND FLUORINE-CONTAINING POLYMERIC COMPOUND

摘要

알칼리 현상액에 대하여 분해성을 갖는 구성 단위 (f1) 을 블록 공중합 부위로서 포함하는 함불소 고분자 화합물 (F) 와, 산의 작용에 의해 알칼리 현상액에 대한 용해성이 증대되는 기재 성분 (A) 와, 노광에 의해 산을 발생시키는 산발생제 성분 (B) 를 함유하는 포지티브형 레지스트 조성물.