一种生产铜锌锡旋转靶材的模具及其方法

摘要

本发明涉及一种铜锌锡旋转靶材的生产模具及其生产方法，属于功能性材料技术领域。其取原料熔炼得到浇铸液，浇铸入生产铜锌锡旋转靶材的模具中，最后经过冷却脱模得到铜锌锡旋转靶材。本发明得到的靶材致密度高，纯度高，成分分布均匀性好，晶粒细小，并且制备工艺简单，成本低廉，可用以大规模工业生产。

主权项

一种生产铜锌锡旋转靶材的方法，其特征是步骤为：（1）熔炼：按铜：锌：锡摩尔比为1.5‑2.3：0.7‑1.2：0.8‑1.1取原料；开启真空感应熔炼炉，抽真空至0.01‑1Pa，通氮气，压力达到0.08‑0.1MPa时，再次抽真空至0.01‑1Pa；向熔炼炉中投入原料锡，250‑270℃熔炼至完全熔化，控制温度为250‑300℃，投入铜，继续熔炼至完全熔化，升温至670‑750℃，精炼25‑35min，最后投入锌，控制温度不超过700℃快速熔化，全部熔化后，在680‑690℃精炼8‑12min，得到浇铸液；（2）浇铸：取生产铜锌锡旋转靶材的模具，在200‑450℃烘干，并预热至200‑600℃，将步骤（1）得到的浇铸液浇铸进模具中；通过流淌管进入圆环型空腔（3），涂覆在外套（2）内壁上的涂料防止模具溶解在浇铸液中，浇铸完成后，去除浇铸口（1），用石墨环盖住模具上端，在800‑850℃保温8‑12min；（3）冷却：将保温后的模具置入水箱中进行冷却，水箱中设置有水循环和搅拌装置，保持水温在15‑25℃之间，冷却4‑6min后取出，脱模，即得到铜锌锡旋转靶材。