基板处理装置以及基板处理方法

摘要

本发明提供一种能够防止基板破损的基板处理装置以及基板处理方法。在利用传感器进退移动部使测绘传感器进入运送器内的状态下，通过传感器升降部使测绘传感器沿上下方向移动。与该动作一起，通过测绘传感器朝向与基板进出运送器的前后方向相交的水平方向检测基板的有无，通过高度传感器检测测绘传感器的高度。由此，在前后方向上的彼此不同的两个以上位置检测基板高度。基板状态取得部基于该基板高度，取得各基板在前后方向上相对于水平面的倾斜度。由于事先取得运送器内的各基板的倾斜度，所以能够防止因基板搬运机构的手部与基板接触而产生的基板破损。

主权项

一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，具有：载置部，载置有用于容置多个基板的运送器，基板检测传感器，朝向水平方向检测各基板的有无，该水平方向是与基板进出所述运送器的前后方向相交的方向，高度传感器，检测所述基板检测传感器的高度，上下机构，使所述基板检测传感器沿上下方向移动，进退机构，使所述基板检测传感器沿所述前后方向移动，控制部，通过所述上下机构使所述基板检测传感器沿上下方向移动，并且通过所述进退机构使所述基板检测传感器沿所述前后方向移动，来通过所述基板检测传感器在所述前后方向上的不同的两个以上的位置检测各基板的高度，基板状态取得部，基于所检测出的各基板的高度，取得各基板在所述前后方向上相对于水平面的倾斜度。