气体清洗装置及气体清洗方法

摘要

本发明的气体清洗装置及气体清洗方法，使弹性体气体导入部不因与喷嘴接触被损伤，而且使气体导入部与喷嘴不粘连。从喷嘴向定位容器、同时设置在容器的底部、底面为圆形、中心部有气体导入孔、并且由弹性体构成的气体导入部导入清洗气体。喷嘴具备气体导入部的底面以上的尺寸并且平面状的顶端面、和位于顶端面的中心部并且为容器的气体导入孔以下尺寸的喷嘴孔，顶端面被表面粗糙化或者用低摩擦系数的材料构成，从而顶端面与气体导入部滑动自由。

主权项

一种气体清洗装置，定位容器，同时从喷嘴向气体导入部导入清洗气体，该气体导入部设置在上述容器的底部、底面为圆形、在中心部具有气体导入孔，并且由弹性体构成，其特征在于：上述喷嘴具备顶端面和喷嘴孔，上述顶端面为上述气体导入部的底面以上的尺寸并且平面状，上述喷嘴孔位于上述顶端面的中心部并且具有上述容器的气体导入孔以下的尺寸，进而，上述顶端面被表面粗糙化或者用低摩擦系数的材料构成，上述顶端面与上述气体导入部滑动自由。