| 发明名称 | 高热稳定性极紫外多层膜 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种高热稳定性极紫外多层膜，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中设有阻挡层的Mo/Si多层膜无法兼备高热稳定性和较好的反射率的技术问题。本发明的极紫外多层膜，主要包括设置在基底上的周期层，所述周期层由从下至上依次排列的第一Si层、第一阻挡层、Mo层和第二阻挡层组成，其中，第一阻挡层和第二阻挡层的材料均为B、C、N三种元素按摩尔比2.5:0.5:(0.25-1)组成的化合物。该极紫外多层膜既具有较高的热稳定性，又保证了初始反射率相对于Mo/Si多层膜的降低程度在合理范围之内。尤其适用于需要在恶劣环境下使用的收集镜。 | ||
| 申请公布号 | CN105467472A | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
| 申请号 | CN201510962155.8 | 申请日期 | 2015.12.21 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 喻波;姚舜;金春水 |
| 分类号 | G02B1/10(2015.01)I;G02B5/08(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B1/10(2015.01)I |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 极紫外多层膜，主要包括设置在基底(1)上的周期层(2)；其特征在于，所述周期层(2)由从下至上依次排列的第一Si层(21)、第一阻挡层(22)、Mo层(23)和第二阻挡层(24)组成；所述第一阻挡层(22)和第二阻挡层(24)的材料均为B、C、N三种元素按摩尔比2.5:0.5:(0.25‑1)组成的化合物。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||