发明名称 | 代表性目标子集的选择及使用 | ||
摘要 | 本发明提供方法及相应模块,其通过选择所测量目标的相对较小子集以代表大量目标的参数测量的分布而减小计量学参数的样本大小及测量持续时间。通过对来自所述分布的选定数目的分位数中的每一者的实质上相等数目的测量进行取样而选择所述子集。所述方法及模块允许正确表示完整目标测量分布的目标的识别。所述方法及模块使用准确度评分及所述选择的稳健性的估计来优化分位数及样本大小选择。可迭代地执行取样及选择以达到指定准则,所述指定准则匹配可在考虑所述完整分布时导出的结果。 | ||
申请公布号 | CN105474377A | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
申请号 | CN201480046681.3 | 申请日期 | 2014.06.26 |
申请人 | 科磊股份有限公司 | 发明人 | 达纳·克莱因;斯文·尤格 |
分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 张世俊 |
主权项 | 一种方法,其包括通过以下步骤从至少一个晶片上的总共N个目标选择n个代表性目标的子集:定义代表准则,选择子集大小n,相对于有关所述N个目标的测量的分布选择分位数的数目q,对来自所述分布的每一分位数的n/q个目标进行取样,计算所述经取样目标的至少一个准确度评分以量化所述经取样目标的测量代表所述N个目标的测量的所述分布的程度,反复所述取样以及n及q的所述选择中的至少一者直到所述至少一个准确度评分低于所述所定义代表准则,其中由至少一个计算机处理器执行所述选择、所述取样及所述计算中的至少一者。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |