一种化学抛光方法

摘要

本发明提供了一种化学抛光方法，该方法先将铜或铜合金置于氧化液中进行氧化，再将氧化后的铜或氧化后的铜合金置于出光液中进行处理。与现有技术“三酸”工艺及采用过氧化氢系列抛光液相比，本发明将化学抛光过程分为两步，先在铜或铜合金的表面形成氧化层，再进行出光处理。首先，氧化液及出光液中不含硝酸，不会产生大量的黄烟污染环境，也降低了对操作人员健康的危害；其次，将抛光过程分为氧化和出光两步，氧化物更易溶解于硫酸中，同时增加了出光操作平台的时间，可避免抛光过程中发生爆沸，降低了反应的危险性；再次，氧化液中添加了醇类化合物为稳定剂，增强了过氧化物的稳定性，使氧化液使用寿命延长。

主权项

一种化学抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：A)将铜或铜合金置于氧化液中进行氧化；所述氧化液包含：B)将氧化后的铜或氧化后的铜合金置于出光液中进行处理；所述出光液包含：余量的水。