MEMS传感器组合输出温度漂移误差系数试验测定方法

摘要

本发明涉及一种MEMS传感器组合输出温度漂移误差系数试验测定方法，其特征是：至少包括：步骤1、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与启动时刻温度值有关误差；步骤2、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化率有关误差系数；步骤3、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化二次方有关误差系数。本发明能够准确的反映产品输出误差与温度之间的关联。按此系数进行合理的温度补偿后，MEMS传感器组合的静态测试和温度循环试验的输出零偏稳定性有较大幅度提高。经过对比测试，MEMS传感器组合全温范围内零偏稳定性指标，角速率输出零偏精度可由原来的0.5°/s提高到0.25°/s。

主权项

MEMS传感器组合输出温度漂移误差系数试验测定方法，其特征是：至少包括：步骤1、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与启动时刻温度值有关误差；步骤2、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化率有关误差系数；步骤3、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化二次方有关误差系数。