一种超硬纳微米多层复合涂层

摘要

本实用新型涉及一种超硬纳微米多层复合涂层，该超硬纳微米多层复合涂层由TiAlSiN层、TiCN层、TiN层构成，其涂层结构由里到外依次为TiN层、TiCN层、TiAlSiN层，该涂层的制备方法为物理气相沉积，各层涂层结构均为纳微米复合结构，该TiAlSiN/TiCN/TiN多层涂层厚度为2.5～3.5um，具有高的硬度、耐磨性及抗高温氧化性，其过渡层结构不仅提高了涂层与基体的结合力，减少了涂层生长的本征应力及热应力，而且能够大幅度提高工模具的使用性能及工作寿命；本实用新型同现有技术相比，其涂层结构是由阴极电弧离子镀沉积而成，阴极电弧离子镀具有离化率高、绕镀性强及沉积温度低等特点，相比其它方法制备的涂层具有更加优异的性能。

主权项

一种超硬纳微米多层复合涂层，其特征在于：所述多层复合涂层由TiAlSiN层、TiCN层、TiN层构成，所述TiAlSiN层为最外层，所述TiCN层为中间层，所述TiN层为最里层，所述TiAlSiN层、TiCN层、TiN层的涂层厚度逐渐减小，所述TiAlSiN层、TiCN层、TiN层的厚度呈梯度分布。