一种回收废铝刻蚀液中磷酸的方法

摘要

本发明公开了一种回收废铝刻蚀液中磷酸的方法。该方法，包括如下步骤：1)将废铝刻蚀液进行减压蒸馏，使所述废铝刻蚀液中的硫酸和硝酸挥发出来，收集馏出液；2)将步骤1)所得馏出液进行结晶，收集结晶体，完成所述废铝刻蚀液中磷酸的回收。该方法能对铝刻蚀液总的磷资源通过蒸馏浓缩重结晶等一套方案实现回收，最终得到电子级磷酸，可循环回用于TFT-LCD的铝刻蚀生产中，该方法收率高，操作性强，可满足大规模生产需要，最大程度的实现资源循环再利用。

主权项

一种回收废铝刻蚀液中磷酸的方法，包括如下步骤：1)将废铝刻蚀液进行减压蒸馏，使所述废铝刻蚀液中的醋酸和硝酸挥发出来，收集馏出液；所述步骤1)减压蒸馏步骤中，真空度为‑0.085MPa至‑0.065MPa；温度65℃‑95℃；时间为12‑36小时；构成蒸馏设备的材料为四氟乙烯浸渍石墨；2)将步骤1)所得馏出液进行结晶，收集结晶体，完成所述废铝刻蚀液中磷酸的回收；所述步骤2)结晶步骤包括如下步骤：将步骤1)所得馏出液加水稀释至磷酸的质量百分浓度为85％‑89％后，进行结晶；所述稀释步骤中，温度为20‑50℃；所述结晶步骤中，温度为2‑5℃；所述步骤2)中，所述结晶步骤在馏出液和水组成的混合液中进行；所述混合液中，磷酸的质量百分浓度为85％‑89％；在所述步骤1)之后，步骤2)结晶步骤之前，向馏出液中加入磷酸晶体作为晶种。