阵列基板及其制造方法和包括其的显示装置的制造方法

摘要

本发明涉及阵列基板及其制造方法和包括其的显示装置的制造方法。提供了一种用于显示装置的阵列基板，该阵列基板包括：绝缘基板；形成在所述绝缘基板上的选通线；与所述选通线交叉以限定像素区的数据线，薄膜晶体管包括连接至所述选通线的栅极电极、连接至所述数据线的源极电极以及漏极电极；覆盖所述选通线、所述数据线以及所述薄膜晶体管并且包括用于暴露所述漏极电极的漏极接触孔的钝化层；以及，形成在所述像素区上并且穿过所述漏极接触孔连接至所述漏极电极的像素电极。所述数据线、所述源极电极和所述漏极电极中的每一个都包括具有铜的下层和覆盖该下层的上表面和侧表面的上层，并且所述上层比所述下层薄。

主权项

一种用于显示装置的阵列基板，所述阵列基板包括：基板；形成在所述基板上的选通焊盘、栅极电极和选通线；栅极绝缘层，所述栅极绝缘层形成在所述选通焊盘、所述栅极电极和所述选通线上；形成在所述栅极绝缘层上的半导体层；形成在所述半导体层上的漏极电极和源极电极，薄膜晶体管包括所述栅极电极、所述漏极电极和所述源极电极；数据线，所述数据线形成在所述栅极绝缘层上并且与所述选通线交叉以限定像素区，所述数据线耦接至所述源极电极；钝化层，所述钝化层形成在所述栅极绝缘层的一部分、所述数据线、所述源极电极和所述漏极电极上，所述钝化层包括用于暴露所述漏极电极的漏极接触孔；以及像素电极，所述像素电极形成在所述像素区中的所述钝化层上并且通过所述漏极接触孔连接至所述漏极电极，并且其中，所述数据线、所述源极电极和所述漏极电极中的每一个都包括具有铜的下层和覆盖所述下层的上表面和侧表面的上层，并且其中，所述上层比所述下层薄。