发明名称 纳米结构材料叠层转移方法和装置
摘要 在一个方面中,提供了用于制造多层纳米结构材料复合物的方法,以及通过这样的方法制造的装置。在另一个方面中,提供了包括使用饰面含氟层来帮助纳米结构材料层的转移的方法,以及通过这样的方法制造的装置。
申请公布号 CN105467749A 申请公布日期 2016.04.06
申请号 CN201510829508.7 申请日期 2015.11.25
申请人 青岛金智高新技术有限公司 发明人 不公告发明人
分类号 G03F7/00(2006.01)I;B82Y10/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 青岛申达知识产权代理有限公司 37243 代理人 蒋遥明
主权项 一种制造纳米结构材料复合物的方法,包含:(a)在第一基底上提供多层复合物,所述多层复合物包含1)纳米结构材料层和2)不同于纳米结构材料层的一个或多个额外的层;(b)将多层复合物转移至第二基底。
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