发明名称 一种电可编程熔丝器件、集成电路和电子装置
摘要 本发明提供一种电可编程熔丝器件、集成电路和电子装置,涉及半导体技术领域。本发明的电可编程熔丝器件,包括阳极、阴极以及连接所述阳极与所述阴极的熔丝连接部,还包括覆盖所述阳极的压应力层和覆盖所述阴极的张应力层。该电可编程熔丝器件由于具有覆盖阳极的压应力层和覆盖阴极的张应力层,因此相对于现有技术具有更快的编程速度。本发明的集成电路包括上述的电可编程熔丝器件,因而同样具有上述优点。本发明的电子装置包括上述的集成电路,因而同样具有上述优点。
申请公布号 CN105470238A 申请公布日期 2016.04.06
申请号 CN201410455030.1 申请日期 2014.09.09
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 甘正浩
分类号 H01L23/525(2006.01)I 主分类号 H01L23/525(2006.01)I
代理机构 北京市磐华律师事务所 11336 代理人 高伟;赵礼杰
主权项 一种电可编程熔丝器件,其特征在于,包括阳极、阴极以及连接所述阳极与所述阴极的熔丝连接部,还包括覆盖所述阳极的压应力层和覆盖所述阴极的张应力层。
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号