METHOD FOR MANUFACTURING A THERMOCOMPENSATED HAIRSPRING

摘要

Procédé de fabrication d'un oscillateur mécanique (1) destiné à équiper un résonateur mécanique d'un mouvement d'horlogerie, un senseur MEMS ou un autre instrument de précision; l'oscillateur (1) comprenant une âme (2) fabriquée dans un matériau ayant un premier coefficient thermoélastique (²1) et un revêtement périphérique (4) en un oxyde présentant un second coefficient thermoélastique (² 2 ); le procédé comprenant la déposition du revêtement (4) à une température qui reste inférieure ou égale à 500°C, et un traitement thermique de recuit du revêtement (4) à une température d'au moins 550°C, afin d'ajuster le second coefficient thermoélastique (² 2 ) du revêtement (4) pour que ce dernier compense l'effet de la variation du premier coefficient thermoélastique (² 1 ) de l'âme avec la température.