一种片状蓝宝石单晶体生长界面温度测量及控制方法

摘要

本发明涉及一种片状蓝宝石单晶体生长界面温度测量及控制方法，该方法采用扁平状结构坩埚，坩埚的两侧对称设置多个电阻式发热体，电阻式发热体在坩埚周围形成多个不同温区的温场，每个温区独立加热，独立设置热电偶进行测温，并独立在控制面板上显示温度；在低温结晶区和高温熔融区之间通过设置钼制或钨制分隔板隔开，可移动的坩埚穿过分隔板并处于低温结晶区和高温熔融区之中，并使结晶区和氧化铝熔融区分别处于分隔板的两侧，本发明通过精确控制晶体生长界面温度，可以提高制备大尺寸片状蓝宝石单晶体的生长速度和成品率，从而降低蓝宝石单晶体的生产成本。

主权项

一种片状蓝宝石单晶体生长界面温度测量及控制方法，其特征在于：该方法采用扁平状结构坩埚，坩埚的两侧对称设置多个电阻式发热体，电阻式发热体在坩埚周围形成多个不同温区的温场，每个温区独立加热，独立设置热电偶进行测温，并独立在控制面板上显示温度；在低温结晶区和高温熔融区之间通过设置钼制或钨制分隔板隔开，可移动的坩埚穿过分隔板并处于低温结晶区和高温熔融区之中，并使结晶区和氧化铝熔融区分别处于分隔板的两侧，蓝宝石单晶体生长过程中，通过控制籽晶、坩埚或者电阻式发热体的移动使蓝宝石晶体的生长界面与高温熔融区和低温结晶区的分隔板位置保持相对不变；通过反馈系统自动调控结晶区的温度实现晶体生长界面温度的控制，使其符合蓝宝石晶体生长的最佳温度范围。