| 发明名称 |
BOARD PROCESSING APPARATUS, BOARD PROCESSING METHOD, AND BOARD PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
제 2 기판 처리 장치의 제 2 제어 장치는, 가상 캐리어를 생성함으로써, 직접 반입구를 통하여 제 2 기판 처리 장치에 반입되는 기판의 위치 정보를 당해 기판이 제 2 기판 처리 장치에 반입되기 전에 기억한다. 그리고, 제 2 제어 장치는, 직접 반입구를 통하여 제 2 기판 처리 장치에 반입되는 기판을 제 2 기판 처리 장치의 외부로부터 제 2 기판 처리 장치의 내부로 반송하는 제 2 계획을, 미리 기억한 제 2 기판 처리 장치 밖에서의 기판의 위치 정보에 기초하여 당해 기판이 제 2 기판 처리 장치에 반입되기 전에 작성한다. |
| 申请公布号 |
KR20160038027(A) |
申请公布日期 |
2016.04.06 |
| 申请号 |
KR20167005338 |
申请日期 |
2014.07.10 |
| 申请人 |
SCREEN HOLDINGS CO., LTD. |
发明人 |
KOSHIDA TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/67;G05B19/418;H01L21/66;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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