| 发明名称 | 一种平板式PECVD机台的U型槽 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种平板式PECVD机台的U型槽，包括侧壁和底壁，所述底壁开设有底壁气孔，所述底壁的底部设置有与所述底壁气孔连接的氨气特气管路，所述侧壁的外侧设置有出口朝上的硅烷特气管路，所述侧壁的顶端设置有向内且斜向上的挡板，其能够避免硅烷特气管路的出口堵塞，方便维护。 | ||
| 申请公布号 | CN205133732U | 申请公布日期 | 2016.04.06 |
| 申请号 | CN201520944957.1 | 申请日期 | 2015.11.24 |
| 申请人 | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 | 发明人 | 袁中存;党继东 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 张海英;林波 |
| 主权项 | 一种平板式PECVD机台的U型槽，包括侧壁(1)和底壁(2)，所述底壁(2)开设有底壁气孔(21)，所述底壁(2)的底部设置有与所述底壁气孔(21)连接的氨气特气管路(5)，其特征在于，所述侧壁(1)的外侧设置有出口朝上的硅烷特气管路(6)，所述侧壁(1)的顶端设置有向内且斜向上的挡板(8)。 | ||
| 地址 | 224002 江苏省盐城市经济开发区协鑫大道88号 | ||